对除气过程里的气体扩散的计算.pdfVIP

对除气过程里的气体扩散的计算 倪国荣 胡海洪 杭州万东电子有限公司 （310004 ） E-mail （ni3kai@ ） 摘 要： 本文列出了“气体扩散对除气过程的影响”一文的主要计算过程。 关键词：扩散，除气过程 1. 引 言 “气体扩散对除气过程的影响”于发表在“中国科技论文在线”（论文编号 200510-242），该文为避免繁复的数学计算掩盖主要问题的讨论，省略了计算过程。本文将 列出主要计算过程，以方便诸位专家审阅。 2. 气体浓度分布的计算 2.1 无限大平板的气体浓度分布 用字母“A”代表材料内部的气体，字母“B”代表构成工件（零部件的统称，下同）材 料。假定，气体 A 不会和材料 B 发生化学反应，材料 B 自身也不发生产生或消耗气体A 的化 学反应。因而，工件内部的气体 A 含量发生的变化，或是从内部穿过外表面逸出而减少，或 是因从周边环境通过孔隙进入工件内部而增加；不会因化学反应而增加或减少。 用G表示部件所占据的空间区域,S是区域G的表面，P是G中的一点，P∈G。P点气体A在时 3 刻t的摩尔浓度（mol/m ）为N （P,t）。假定材料B的是均匀的，处处具有相同的温度和微观 结构， D 在G内处处相等，气体A的迁移仅仅是由于浓度差引起的。 AB 描述扩散现象的基本定律为菲克第一定律： 对于由两组分 A 和 B 组成的混合物，在无总体流动时，由于浓度梯度引起的扩散通量J A 等于扩散系数与浓度梯度的乘积，其数学形式为： J D ?N ? （2-1） A AB A 式中，扩散通量是空间某点组分A的流量密度，是矢量，其方向为组分A的流动方向；DAB 表示组分A在组分B里的扩散系数，?是哈密顿算子，?N 是组分A在该点的浓度梯度，也是 A 矢量；负号表示扩散通量的方向与梯度方向相反。 组分 A 在组分 B 里浓度分布随空间、时间发生的变化服从菲克第二定律： 在无总体流动和化学反应时，组分 A 在组分 B 里的浓度分布函数 N （P,t）满足扩散方 程： ?N D ΔN （2-2） AB ?t - 1 - 式中，Δ是拉普拉斯算子。 面积很大的平板，其长度、宽度远大于其厚度时，可用无限大平板来近似代替。如图 1， 厚度为 L 的平板放在直角坐标系中，x 轴垂直平板，平板两外表面的 x 座标分别为 0 和 L 。 此时扩散方程简化成： 2 ?N ? N D （2-1 ） ?t AB ?x 2 定解条件为： 初始条件：N x,0 N0 边界条件：N 0,t N L,t 0 图 1 无限大平板 令 N X x T t ,由于 N 恒大于零，X x 和 T t 应符号相同，取其全部为正。代入（2-2 ）， 得： X x T t D X x T t AB T t X x 2 ? ω （2-3 ） X x D T t AB 2 取常数为负数－ω ，是基于N随时间增大而变小，其对时间的导数必为负数。 先处理边界条件 N 0,t N L,t 0 X x +X x 0 ω2 （2-4 ） X x sin c x + ω ? （2-5 ） 考虑到边界条件 N 0,t 0 ，? ＝0，由边界条件N L,t 0，有： sin 0 ωL （2-6 ） L ωj π j 1,2,3…… （2-7 ） j π ω j 1,2,3…… （2-8 ） L 于是得到： （2-9 ） X x c x sin ω 于是，对于 T t 有： T t D T t ? AB ω2 （2-10） 2 2 π2 DAB 但是，DAB ω ＝j 2 L 2 π D 1 AB 令 ， 2 L τ L2 常量τ＝ 具有时间的量纲，称为“松弛时间”。 2 π D AB 2 t ?j T t e τ （2-11） - 2 - 2 t N ＝ ?j τ j π j 1,2,3…… （2-12 ） j c e sin x j L 将函数 N 和常数 c 加上下标 j 是表示对应于不同的 j 值。 对所有可能的 j 进行叠加，就得到方程（2-1）在零边界条件束缚下的通解： ∞ 2 t ?J τ j π N （x,t）＝ c e sin x j 1,2,3…… （2-13） ∑ j L j 1 当t 0 时，根据初始条件N x,0 N ，有： 0 ∞ j π ∑cj sin x ＝N0 j 1,2,3…… （2-14） L j 1 kπ 对某个特定的j ＝k,上式两边同乘以sin x 后，在区间 [0,L]上求定积分，不难算出， L 左边的各项积分除了j ＝k 一项外，全部为