QSG3透明石英玻璃坩埚.pdf

筑神-建筑下载: QSG3 透明石英玻璃坩埚 本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃坩埚。 本坩埚采用天然石英熔制成坯体，并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层。 一、技术要求 1．物理、化学性能指标 （1）化学成分 a．内涂层化学成分 铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻，镍、锰、硼、钾、钠、理十三个杂质元素的总含 量不得大于0．001％。 其中：铝≤5×l0[-4]％； 铜≤0．l×l0[-4]％； 铁≤0．5×l0[-4]％； 硼≤0．1×l0[-4]％； 钾≤1×l0[-4]％； 钠≤1×10[-4]％。 b．坩埚坯体化学成分 铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含 量不得大于0．01％。 其中：铝≤60×10[-4]％； 铜≤0．1×l0[-4]％； 铁≤5×l0[-4]％； 硼≤0．3×l0[-4]％； 钾≤4×l0[-4]％； 钠≤4×l0[-4]％。 （2）热稳定性 试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。 （3）抗结晶性 筑神-建筑下载: 试样在1200℃温度下恒温半小时，不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0．5～ 3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。 （4）涂层厚度应均匀，折合重量应符合表1规定。 表 1 外径D 涂层重量 外径 D 涂层重量 毫米 克 毫米 克 80 3.0 106 4.5 90 3.5 114 5.5 100 4.0 130 7.0 2．外观指标 (1)坩埚坯体部分（见表２）。 项 目 直径 弧度部分 0.3－0.4 气泡 毫米 直线部分 0.3－0.7 允许数量（个/厘米[2]） ≤6 长径 弧度部分 1－4 暗疤 毫米 直线部分 2－4 允许数量（条/100厘米[2]） ≤4 丝状长径（毫米） 0.2－1.5 点状直径（毫米） 0.2－0.8 色斑 允许总数（个/100厘米[2]） ≤4 透明颗粒允许数量 （个/100厘 ≤30 米2） 波纹（毫米） ≤0.3 注：①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。 ②非圆形缺陷的直径均按算术平均值计。 (2)坩埚口部不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。 (3)坩埚内表面不允许有色斑沾污和析晶。 筑神-建筑下载: (4)坩埚内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颗粒（直径在0.5－