Er2O3薄膜的应用及制备方法研究进展.pdfVIP

第18卷第1期 金属功能材料 V01．18．NO．1 0 1 Metallic 2011 2 1年2月 FunetionalMaterials February， Er203薄膜的应用及制备方法研究进展 蒋文文，李 搜，王 磊 (北京有色金属研究总院 超导研究中心。北京100088) 摘要：作为稀土氧化物的一种，氧化铒具有优良的光学和电学性能，具有广阔的技术应用前景。本文综述了 Erzo。薄膜的各种应用，描述了Er：0。薄膜的各种制备方法及研究现状，并对各种制备方法的优缺点进行了评述， 最后对Erz()。薄膜的应用和制备方法作了总结。 关键词：氧化铒；薄膜；应用；制备方法；研究进展 中图分类号：TB3 文献标识码：A 文章编号：1005—8192(2011)01—0076—05 of