不同衬底温度生长的La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜椭圆偏振光谱研究.pdf

第28卷第6期 红外与毫米波学报 V01．28，No．6 2009年12月 Millim．Waves December，2009 J．Infrared 文章编号：1001—9014(2009)06—0410一04 不同衬底温度生长的Lao．5Sr0．5C003 薄膜椭圆偏振光谱研究 李文武1，一， 李亚巍1”， 胡志高1’孙， 朱自强1， 褚君浩1 (I．华东师范大学极化材料与器件教育部重点实验室，上海200241；2．华东师范大学电子工程系，上海200241) 单一钙钛矿结构的多晶薄膜．通过椭圆偏振光谱仪测量了400～llOOnm波长范围内该导电金属氧化物薄膜的光学 折射率随着衬底温度的升高而减小，然而在可见．近红外波长范围内消光系数随着衬底温度的升高而增大．这主要 与薄膜的晶化质量和导电性能有密切的关系． 关键词：脉冲激光沉积法；‰，Sr0，CoO，薄膜；椭偏光谱；光学常数 中图分类号：TN204；TN206文献标识码：A ELLIPSoMETRYoF STUDYoNTHESPECTRoSCoPIC FILMSPREPAREDATDIFFERENT Lao．5Sro．5C003 SUBSTRATETEMPERATURES LI Jun-Ha01 Wen—Wul·2，LIYa—Weil，2，HUZhi．Ga012+，ZHUZi．Qian91，CHU of China ofPolarMaterialsand Education，East (1．KeyLaboratory Devices，Ministry Normal University，Shanghai200241，China； ChinaNormal ofElectronic University，Shanghai200241，China) 2．Department Engineering。East metaloxidefilmswere on underdifferent Si(100)substratesgrowth Abstract：‰5Sro．5C003(IsC0)conductiveprepared laser showsthatthe ofthe diffraction(XRD)analysiscrystallinity temperaturesbyusingpulsed deposition(PLD)．X—ray LSCOfilmsincreaseswiththeincreaseofsubstrate thefilms at650℃and700℃are temperature．anddeposit