一种微位移放大机构的设计与仿真.pdfVIP

第 26卷第 12期 机 　械 　设 　计 Vol. 26　No. 12 2 0 0 9 年 1 2 月 JOURNAL OF MACH IN E D ESIGN D ec. 　　2009 一种微位移放大机构的设计与仿真 1 2 1 1 1 张建瓴 ,陈万银 ,可欣荣 ,魏德仙 ,洪添胜 ( 1. 华南农业大学 南方农业机械与装备关键技术省部共建教育部重点实验室 ,广东 广州 　510642; ( ) ) 2. 广州建兴光电科技 广州 有限公司 ,广东 广州 　510663 摘要 :根据差式杠杆位移放大原理设计了一种新型微位移放大机构 。计算和推导了该位移放大机构的位移放大倍 数和静态刚度 ,分析了柔性铰链结构参数对微位移放大机构刚度的影响 ,并对理论计算结果和 AN SYS仿真结果进行了 对比。结果表明 ,理论计算值和有限元仿真结果之间存在一定的差异 。 关键词 :柔性铰链 ;压电驱动器 ;微位移放大机构 ;有限元仿真 中图分类号 : TH 123　　文献标识码 : A 　　文章编号 : 1001 - 2354 (2009) 12 - 0009 - 04 　　在微机电系统 、精密加工与精密测量 、纳米科学与技术等 应用于对运动行程要求较大的场合 [4 - 8 ] 。 领域中 ,压电陶瓷驱动器是一种很受欢迎的驱动器 ,它具有结 文中首先分析了差式杠杆的位移放大原理 ,并据此设计了 构紧凑 、运动分辨率高 、输出力大 、能量转换效率高 、无机械损 一种新型结构的微位移放大机构 ,计算了该放大机构的位移放 耗 、无磁场 、无污染 、响应快等优点 , 已被广泛用于设计一些超 大倍数和刚度 。该机构具有刚性好 、位移放大倍数高等特点 。 精密定位系统 [ 1 - 2 ] 。但压电陶瓷驱动器的一个很大缺点是其 最后通过 AN SYS有限元方法对微位移放大机构进行了仿真计 输出位移范围较小 ,即使是层叠式的压电陶瓷驱动器一般也只 算 ,分析对比了不同柔性铰链参数下放大机构刚度计算的理论 有几微米至几十微米的输出位移 ,在实际应用中 ,常常需要将 值和有限元仿真结果 。 压电陶瓷驱动器的输出位移进行放大 [2 - 3 ] 。 柔性铰链是一种新型的传动结构形式 ,它是利用结构薄弱 1　位移放大原理 部分的弹性微小角变形来完成类似铰链的运动传递 ,具有体积 小 、加工简单方便 、无机械摩擦 、无间隙、运动灵敏度高和响应 利用柔性铰