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MEMSVOA在光通信系统中的应用 一、光通信系统 •发射调节 •接收调节 •传输调节 二、VOA •VOA - Variable Optical Attenuator ，可调光衰减器。 •VOA是光通信系统中重要的器件，它通过衰减光功率来实现对信号的实时控制。 • 应用 1.与WDM 、TAP-PD、EDFA构成ROADM、VMUX 、增益平坦EDFA等模块。 2.光接收机的过载保护。 3.光功率计等仪器的计量与定标。 • 分类 1.耦合方式：反射型（R）、透射型（T ）、衍射型（D）。 2.制造工艺：传统机械型、液晶型、磁光型、 微机电系统（MEMS）型、平面波导型、 高分子可调衍射光栅型、高光电系数材料型。 三、MEMS VOA • 随着光纤网络的发展，VOA 的发展趋势是：低成本、体积小、高集成、响应快。 传统机械式VOA 已经无法满足上述需求，而基于MEMS技术的电驱动可调光衰减 器提供了一种很好的解决方案。 • MEMS VOA可以分为反射式、挡光式和衍射光栅式，但后两者的加工工艺复杂， 成本较高，而反射式MEMS VOA技术相对成熟，兼有响应快、体积小、重量轻、 功耗低、动态衰减范围大、精度高等显著优点，被广泛使用。 • 目前生产MEMS VOA的厂家主要有：Santec、JDSU、Avanex 、NTT、Bookham、 Oplink、高意、昂纳、光讯等。 • 双纤准直器与MEMS芯片进行耦合，静电力驱动可扭转反射镜，使反射光束偏转， 调整反射光束与出光纤芯的耦合度，从而实现光衰减。 •技术指标： 工作波长范围、工作温度、动态衰减范围、 IL、RL、PDL、TDL、WDL等。 •对Pigtail斜面角度、C-lens曲率半径、镀膜、 材质等参数进行优化，满足不同指标要求。 •外加电压变化，衰减值变化，连续可调。 •静电引力，加反向电压，器件能正常工作。 •Dark type Bright type，断电保护。 四、Chip 2 5 Hinge Silicon mirror (Plan View) Protection tabs Gold mirror Hinge Protection tab Electrical GND (Side View) Small line contact. GND touching GND Substrate Elect. GND Drive Voltage, V 五、衰减曲线 六、MEMS VOA的模块级应用 • MEMS VOA除了单通道的应用外，还经常与其它光器件一起组成模块使用， 如OADM、VMUX 、EDFA等。 （1）OADM模块 • OADM - Optical Add-Drop Multi