TiN薄膜腐蚀过程电化学原子力显微镜原位研究.pdfVIP

14 Materials In Situ Research of the Early Stages of Corrosion in TiN Thin Films Dec.2001 Protection Using the Electrochemical Atomic Force Microscopy Vol. 34 No. 12 TiN ( 116026) [ ] 用离子束增强沉积( IBED) 技术在1Cr18Ni9 不锈钢上制备了TiN 薄膜, 并用电化学原子力显微镜( ECAFM) , 从纳 级空间分辨度对其在3%NaCl 溶液中的早期腐蚀过程进行了原位研究结果表明, TiN 薄膜在极化电位的阴极区域 发生钛氧化物膜的还原溶解; 在低阳极极化电位下, 发生轻微腐蚀, 当阳极极化电位进一步提高, 在200~ 300 mV 出现电解 抛光现象可见, 电化学原子力显微镜是研究早期腐蚀过程的有效研究手段, 可原位观察研究微观腐蚀的过程 [ ] TiN 薄膜; 腐蚀; 电化学原子力显微镜; 原位观察 [ ] TH 42. 9 [ ] A