ZnS上金刚石膜的过渡层设计和附着力研究.pdf

第37卷第2期 红外与激光工程 2008年4月 V01．37No．2 InfraredandLaser Apr．2008 Engineering ZnS上金刚石膜的过渡层设计和附着力研究 郝鹏1，张树玉1，黎建明1，杨海1，苏小平1，余怀之1，刘伟1，贺琪2 (1．北京有色金属研究总院，北京100088；2．北京科技大学材料科学与工程学院，北京100083) 摘 要：CVDZnS是中长波前视红外窗口和整流罩的合适材料，文中从折射率、热应力、透射波段 和附着力等方面考虑，由实验设计出HfCl2，非晶膜双层结构作为ZnS与金刚石保护膜间的过渡层，采用 射频反应磁控溅射技术在ZnS表面制备过渡膜层，并采用划痕法研究了薄膜的显微结构对其与衬底问 附着力的影响。结果表明，金刚石能够在Hfo／非晶膜过渡层上形核、生长，得到优质的保护膜，同时过渡 层也缓解了金刚石膜与ZnS衬底间由于热膨胀系数的较大差异而引起的膜层脱落问题，单面沉积过渡 层的ZnS在2-12Ixm范围具有增透膜的作用。与A1N／非晶膜组成的过渡层相比，HfOJ非晶膜组成的过 渡层具有更小的残余应力。在典型实验条件下，该过渡层与ZnS衬底附着性良好，研究发现薄膜的显微 结构对附着力的大小有重要影响，形成细4、致密的柱状纤维结构，有利于提高附着力。 关键词：过渡层； ZnS；金刚石膜； 附着力 文献标识码：A 中图分类号：TN213；0484．2 anditsadhesionbetweenZnSanddiamond Interlaysdesign coating protective HAO Hail，SU Pen91，ZHANGShu-yul，LIJian-min91，YANGXiao-pin91， YU Huai-zhil，LIUWeil，HEQi2 ResearchInstituteforNonferrous ofMaterialScienceand (1．General Metals，Beijing100088，China；2．School Engineering， ofScienceand University TechnologyBeijing，Beijing100083，China) Abstract：Themostsuccessfuland usedmaterialfor forward IRwindow widely highspeed looking anddomeis refractive chemical index，thermalstress，transmission vapourdeposited(CVD)ZnS．Taking of films ZnSand andadhesioninto stack between spectrum account，theinterlayer