大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制.pdfVIP

第35卷第5期 仪 器 仪 表 学 报 VoL35No．5 Chinese ofScientmcInstmment Mav．2014 2014年5月 Joumal 大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制 杨 超1”，于海利1，糜小涛1，巴音贺希格1，唐玉国1 (1．中科院长春光学精密机械与物理研究所长春130033； 2．中国科学院大学北京100049) 摘要：大光栅刻划机若存在摆角误差，将直接影响刻划光栅的波前质量。首先，计算得到李特洛设置下的摆角误差与波前质 量的映射关系。其次，论述了双压电触动器校正摆角的工作原理，并设计了摆角测量光路，测量在该结构下工作台的摆角校正 能力。最后基于以上结构对工作台进行刻划实验。结果表明在具有加O×500光栅刻划能力的刻划机上，采用双压电触动器校 正工作台摆角误差，能够满足±5“m行程范围内±2”校正范围的要求；实验表明摆角误差校正后工作台的偏转角度由0．42”降 低至O．02”，校正后的摆角误差相比于校正前降低了95．24％，满足对工作台摆角校正精度的要求，提高了光栅的波前质量。以 上实验结果为刻划出高精度大面积光栅提供了基础保障。 关键词：光栅刻划机；刻划光栅；摆角误差；压电触动器 中图分类号：THll3．2文献标识码：A 国家标准学科分类代码：420．420 0ftheworkbench correction DeVelopment yaw锄gle mechaIlismof maclline largegratingrllling YaJlgCha01”，YuHailil，MiXiaota01，Bayanheshi91，TaJlgYugu01 (J．C玩哪九Mn‰m谢0，啊如，n凇Mec施n洒。以枷泌，饿嬲e 2．踟觇耶妙旷吼i嬲eAc口dBw矿．sc如聊邙，＆捌ngJODD锣，饥i，ln) of machine wiU a艉cttlle t}le Abstract：If e玎or，it direcdy largegratingmling h髂yawangle qIlality nlling孕ating relationbetween en．or肌dwave-front uttrowf0册isobtained mapping yaw锄de qual畸in tllrougllcalculation．Secondly，tIleworking 0f the witlldouble actuatorsis me船urement isde— principlecon-ectingyawangle piezoelectric discussed，theyawan出e opticalpatll tlle coⅡ℃ction theworkbenchwithtllisstructureis were siglled，andyaw肌de c印abil畸0f me鹊ured．Finally，tllemlingexperiments c疵ed ontllewor|【benchtlleabove indicatethatontlIe with ×500 ou