第五章 精密加工中的测量技术.pptVIP

多齿分度盘的标定 1）使用精度更高的测角仪器对多齿分度盘进行标定。 2）利用圆周360度封闭的原理，用两个多齿分度盘互检标定。 * * 5.6 圆度和回转精度的测量 圆形零件横截面的实际轮廓可看成是中心角θ的周期函数，它以2π为周期，因此可以用傅氏级数表示： 由上式还可看出：圆形零件横截面的实际轮廓是由一半径为r0的圆和若干个不同次数谐波波形所迭加而成。其中常数项r0为平均圆半径，一次谐波表示偏心的影响，而反映表面粗糙度和表面波度的高次谐波也不属于圆度误差，所以圆度误差可用下式表示： 圆度误差的几何特性 一、圆度的测量方法和圆度误差的评定 圆度误差是指包容同一正截面实际轮廓且半径差最小的两同心圆间的距离。 圆度误差的图形表示 采用极坐标记录的圆度仪测的圆度误差曲线。 * 圆度误差的评定 * 圆度仪的工作原理及类型 2种方式。转轴式适用于测量大型工件，转轴式测量时，工件不动，传感器测头绕主轴轴线作旋转运动，测头在空间的运动轨迹形成一理想圆。工件实际轮廓与此理想圆连续进行比较，其半径变化由传感器测出，经电路处理后，由记录器描绘出被测实际轮廓的图形，或由计算机算出测量结果。转台式与之相反，工件回转，而测头架不动。不易测圆柱度、同轴度、平面度和垂直度。TALYROND3、TALYROND73、HYQ-014A、DQR-1 二、圆度仪及其测量精度分析 * 可测圆柱度、同轴度、平面度和垂直度、轴线直线度等。 TALYCENTA、TALYROND300、JCS-042。 * 影响圆度仪测量精度因素 主轴回转误差：一般为0.05μm，部分达到0.025μm 工件轴线和主轴轴线偏心引起的误差 工件轴线对主轴轴线倾斜引起的误差 测量头形状和测头半径变化引起的误差 测量力的影响 测量头偏立引起的误差 * 将高精度钢球卡在主轴的端部，尽量调整使其同心，然后用测量仪测出其径向跳动。 三、主轴回转精度的测量 * 用高精度钢球测主轴的回转精度 建立如图所示的直角坐标系。O1点的极坐标为x(θ)和y(θ)。s(θ)为被测工件的轮廓形状误差。测微仪A、B、C的输出信号分别为A (θ) 、B (θ) 、C (θ)，则： 消去x(θ)和y(θ)得三点法误差分离基本方程为： * 三点法误差分离原理测主轴回转误差 * 测量时，若取采样点数为N，则令: 并将 离散化 最后求得任意时刻机床主轴回转运动误差: * 5.7 激光测量 一、单频激光测量原理 * 二、双频激光测量原理 * 三、激光测小角度原理 * 四、多路激光长度测量 * 五、激光测量表面粗糙度和表面微观形貌 由光源1发出的光线经聚光镜2、滤色片3、光阑4、及透镜5后成平行光线，射向半透半反的分光镜7后分成两束：一束光线透过补偿镜8、物镜9到平面反射镜10，被10反射又回到反光镜7，再由7经聚光镜11到反射镜16，由16进入目镜12；另一束光线向上通过物镜6，投射到被测零件表面，由被测表面反射回来，通过分光镜7、聚光镜11到反射镜16，由16反射也进入目镜12。这样，在目镜12的视场内可观察到这两束光线因光程差而形成的干涉带图形。 * 六、自由曲面的测量 及评定 1、采用坐标法测量自由曲面，然后进行计算机图形处理、曲面拟合。 2、自由曲面处理结果的评定： 1）已知设计模型自由曲面的处理结果评定 2）未知设计模型自由曲面的测量结果评定 3）自由曲面测量面的粗糙度评定 * 习题5-2 习题5-4 习题5-8 习题5-15 * 课后思考题 * * 精密和超精密加工技术 华南理工大学 陈松茂 讲师 第五章 精密加工中的测量技术 本章主要提要 5.1 精密测量技术概述 精密测量技术是机械工业发展的基础和先决条件之一。测量精度一般应比被测件的精度高一数量级。由于有了千分尺类量具，使加工精度达到了0.01mm，有了测微比较仪，使加工精度达到了1μm左右；有了圆度仪等精密测量一起，使加工精度达到了0.1μm；有了激光干涉仪，使加工精度达到了0.01μm。 目前在基础工业的某些领域，精密测量已成为不可分割的重要组成部分。在电子工业部门，精密测量技术也被提到从未有过的高度。例如制造超大规模集成电路，目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm，正向0.18μm过渡，2009年的预测线宽是0.07μm。此外，在高纯度单晶硅的晶格参数测量中，以及对生物细胞、空气污染微粒、石油纤维、纳米材料等基础研究中，无不需要精密测量技术。 一、精密测量的意义 * 恒温条件 隔振条件 气压、自重、运动加速度和其他环境条件 根据材料热膨胀系数选择 根据材料的稳定性和耐磨性选择 极高精度测量方法和测量仪器的发展：0.04nm、0.01’’ 精密在线自动测量技术的发展 测