石英谐振力传感器加载机构理论及实验.pdfVIP

第 l9卷 第 2期 辽宁工程技术大学学报 (自然科学版) 20o0年4月 VOI．19． №2 JournalofLiaoningTechnicalUniversity(NaturalScience) Apt．， 2000 石英谐振力传感器加载机构理论及实验 T 72-、=2， 盔 _丘 董查 玛冠平 l· (辽宁工程技术火学 机械工程学院) (清华大学 柏南仪器与机械学系) — 』；耐谐式感机 ． 链 载机 模。睦． 果表明 机构产生盘差的主要原因是铰链处有微小的拉压变形：在机构中和传瞎器接触的横粱上存在一个不受偏载影响的点．通过改 变传感器在机构中的位置到选该点．可 消除盘莲． 捌 佬 磊，羰 关键词 力传感器：加载机构：柔性铰链：偏载 中图号 TH82， 丽 一 0 引 言 1947年，V．E．Bottom 发现，当在石英晶片上 柔性铰链的特点是：无机械摩擦、无间隙、 施加外力后，其谐振频率会相应发生变化。其后 运动灵敏度高。柔性铰链参数如图2。由力矩M： 人们对石英晶体谐振器的力频效应进行了大量的 引起的角偏转d，为 ： 理论和实验研究，利用这一原理制成的石英谐振 重物 托盘 传感器 弹性禁 力传感器 J，因为具有数字化输出、性能稳定、 功耗小等优势而在测力、称重方面有很好的应用 前景。 石英晶体谐振器的频率增量与所加外力有线 性关系2【】： = F (1) 其中F为外力， 为力灵敏度。 将石英谐振式力传感器用于称重时，F述特 圈 l 石英传感器加载机构 Figl loadmechanismofquartztorcescns0r 点对加载机构提出了特殊要求 I：()传感器本身 的刚度大，不易变形，传感器的这种特点要求加 载机构是一微变形机构：(2)石英谐振式力传感器 的承载处是点接触，要求设计出特定的承重传力 机构来克服偏载力矩。 针对上述特点．使用以柔性铰链为基础的加 载机构 (见图1)，可以实现高精度称重。 1 加载机构数学模型 图2 粜性铰链参数 Fig2 parametersofflexiblehinge 收稿日期 1999--07--02。第 一-作者 程卫系，男．1967年 ，硕士，讲Ilfj．丰文编植：王甚兰 第2期 程卫东等：石英谐振力传感器加载机构理论及实验 205 传感器上的力平衡方程为 卺M：2EbRIl赤2p+uIl+’y2(+) G—k． ：k， (6) 式 中k，机 构整体 剐度 ，k，弹性梁 的刚度 ， [厢 ] k2= ／L． (厶是传感器中心到弹性梁上柔性铰 链的距离)。传感器上所受力 [皙 F=k (7)