精密光学零件加工技术的新进展.pdfVIP

维普资讯 敝毛 如外 L^s￡R ＆ l FR^ D 第2l眷革 3期 精密光学零件加工技术的新进展 曹天宁 (浙江大学) 摘 要 本文蟪述近十年来精密及特种光学零件光学制造领域出现的新工艺、新技 术及其新型工艺装备的概况，反映了国外的最新进展与水平，同时也评述国内的现状。 关量词 精密光学霉件 新工艺 tlmO公司的MSG一325双轴计算机数控 (CNC) 一 ， 酋 曹 金剐石车床，控制进绪灵敏度 达 0．01P,m，度 研磨与抛光是久经考验的、传统的光学加 我茸用金刚石车刀直接车削有色金属、塑料或 工技术．由于曲率半径相等、凹凸相反的一对 晶体获得的光学表面达到一个新的承平，在该 球面的相对研唐运动可以修正得到精 确 的球 机床上加工出~bl0mm饲件的高次非球 面，面 面，从丽，产生了球面光学系统，简便的工艺 形精度达 ^／3，初步解决了光学塑料非球 面 方法为光学工业作出了难 以估量的贡献。现代 遗镑的模具加工 问题。 高技术的发展，促使传统 的光学加工技术的发 (2)高速叠一I石磨轮一旋磨削成型 光 学 展与变革，如红外空问仪器、红外天文 仪器、 表面 由于MSG-325采用空气轴承，不能 激光核聚变光学系统、激光武器及x光望远镜 承受大的切削力及激烈的震动，所阻不能切削 等，促使光学技术采用大雨轻的蜂窝状 毛坯、 玻璃及黑色金属。美国RankPneumo公司生 功能晶体材料、非球面金属表面及 金 属 多 面 产的ULTRA-2000与ASG-2500精密数控金 体，从而，使单点金刚石加工技术、计算机控 刚石车床，采用液压传动，而传动灵敏度达刭 制抛光技术等首先在激光与红外光学中得蓟应 0．01~-m。ASG一2500双轴计算机数控超精 唐 用。另一方面，X光望远镜等的应用使光学加 车床，甩激光干涉仪和计算机控制，不仅可用 工超精化、超微米级，甚至近纳米级，从而使 金刚石 刀 直接 事 出抛 光 面 (最 大 直 径 为 精密光学加工形成了一个独立的科 学 技 术 领 304mm)，还可直接磨硬而脆的玻璃光学表面， 域，许多工艺方法及装备涉及高技术，标志着 达蓟光学面形与微观表面结构 (工件直径可选 光学加工的新水平。本文综述精密及特种零件 152atra)。利用该机床磨妁 SF12玻璃 的 凸球 光学加工技术的新进展。 面 (D为 75ram，R 为 254utrn)的面 形，用 ZYGO-MarkI测试，获得如图1所示的干涉 =、光学囊厦一提成型技术 传统的光学加工必须经过粗磨、缅磨和抛 光等多道费时的工序才能获得光学表面。光学 工艺人员渴望通过一个工序直接从玻璃或其他 光学材料上制造出光学表面。以下三个方面说 明这项技术的最近进展。 (1)单点金剐石丰 削 (SPDT)光 学表 面 “ 我国于 1987年引进 了美国RaakPn