La0.5Sr0.5CoO3Pb(Zr0.4Ti0.6)O3La0.5Sr0.5CoO3铁电电容器的结构和性能研究.pdf

第39卷第2期 人 工 晶 体 学 报 v。1．39N。．2 垫!Q笙堡旦 !Q型垦些垒兰：里竺：量兰些!!!!!堡!垦垦!璺!垒坚 垒P巫!：兰Q!Q． Lao．5Sr0．5C003／Pb(Zr0．4 Ti0．6)03／La0．5Sr0．5C003 铁电电容器的结构和性能研究 陈江恩1’。，刘保亭1，孙 杰1’2，郭延岭2，马蕾2，娄建忠2，彭英才2 (1．河北大学物理科学与技术学院，保定071002；2．河北大学电子信息工程学院，保定071002) 摘要：采用磁控溅射法和脉冲激光沉积法，在SrTiO，(001)衬底上制备了k，Sro．，CoO，(70nm)／Pb(Zro。Ti¨)03 (70am)／‰．5Sro 5C003(70 均为外延结构。在5V的外加电压下，LSCO／PZT／LSCO电容器具有较低的矫顽电压(O．49V)，较高的剩余极化强 度(41．7 p,C／cm2)和较低的漏电流密度(1．97×10’5 电流的分析表明：当外加电压小于0．6V时，电容器满足欧姆导电机制；当外加电压大于0．6V时，符合空间电荷限 制电流(SCLC)导电机制。 关键词：铁电电容器；PZT；夕F延薄膜；导电机制 中图分类号：TM223 文献标识码：A Structureand of PropertiesLao．5Sro．5C003／Pb(Zr0．4 Tio．6)03 Ferroelectric ／Lao．5Sro．5C003 Capacitor CHEN Jiang．errl”，LIUBao—tin91，SUNJiel”，GUOYah—lin92， MA Lei2，LOU Jian．zhon92，PENGYing．cai2 of Scienceand (1．CollegePhysics Technology，HebeiUniversity，Baoding071002，China； ofElectronicandInformation 2．College 071002，China) Engineering，HebeiUniversity，Baoding 2November 3December (Received 2009，accepted 2009) Abstract：Lao5Sr05C003(70 nm)／Pb(Zro．4Ti06)03(70am)／‰．5sr0．5C003(70 wasfabricatedon RF and laser capacitor SrTi03(001)substrateby magnetronsputteringpulsed deposition thatbothLSCOandPzI’thinfilmsare structures．It diffraction()(】如)shows (PLD)method．X