内腔补偿激光模态实验研究.pdf

第 29卷第 2 期 武 　汉 　工 　业 　学 　院　学 　报 Vol29No2 20 10年 6月 Jou rnal　of　W uhan　Polytechn ic　U n iversity June20 10 文章编号 :(20 10) 02 0052 04 DO I: 10. 3969 / j. issn. 20 10. 02. 0 14 内腔补偿激光模态实验研究 李 　捷 , 肖　娟 (武汉工业学院 电气信息工程系 ,湖北 武汉 430023) 摘 　要 : 首先根据模态耦合理论分析了热畸变对光束质量的影响 ,并用数值方法得到理想基 模和畸变基模耦合幅度与泽尼克畸变之间的关系图。然后采用一种新型的 M EM S微变形反 射镜搭建了一个内腔自适应光学实验系统 ,用来对热畸变激光光束模态进行补偿 ,得到了满意 的结果 。 关键词 : 自适应光学 ;激光模态补偿 ; 微变形镜 中图分类号 : TN 24 1　　　　　　　　文献标识码 : A Exp e rmi en ta l study o f in tracavity comp en sa tion o f la se r m o de L I J ie, X IA O J uan (D ep artm en t of E lectrical and Inform ation Engineering, W uhan Po lytechn ic U n iversity, W uhan 430023, Ch ina) Ab s tra c t: Calcu lation s are p erform ed show ing the effect of Zern ike aberration s on la ser beam quality in th is p ap er. Then an in tracavity adap tive op tic s system ba sed on a M EM S deform ab le m irror to comp en sate the la ser mode is de scribed. From the te st re su lt, it is exp licit that the ou tpu t mode of h igh power la sers can be comp en sated by the adap tive system. Ke y w o rd s: adap tive op tic s; la ser mode comp en sation; deform ab le m icrom irror 　　激光晶体的热畸变效应是影响固体激光器高功 硅微加工技术的 M EM S技术的发展 ,搭建低成本和 率运转的重要因素之一 。随着激光器抽运功率的增 低复杂度的自适应光学系统成为了可能 。本文对热 加 ,晶体材料内部由于温度分布不均匀引起双折射 畸变激光光束模态的内腔自适应补偿技术进行了研 ( ) 和热透镜效应 ,导致激光器的基模 TEM00 输出功 究 ,并采用一种新型的 M EM S微变形反射镜搭建了 率和光束质量大幅下降。 一个内腔自适应光学实验系统 ,用来对热畸变激光 为了克服热畸变对激光器性能的影响 ,有学者 光束模态进行补偿 。 使用相共轭镜和衍射