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ARTICLE | 论文 纳光学结构及应用 Micro- Nano- Optical Structures and Applications 常河 ， （中国科学院 上海光学精密机械研究所 强场激光物理国家重点实验室 上海 201800 ） Zhou Changhe （State Key Laboratory of High Field Laser Physics, Shanghai Institute of Op tics and Fine Mechanics, Chinese A cademy of Sciences, Shanghai 201800, China ） 摘 要 简短回顾微纳光学的几个重要研究方向，包括光子晶体、表面等离子体光学、奇异材料、负折射、隐身以及 亚 长光栅等。微纳光学不仅成为当前科学的热点研究领域，更重要的是，微纳光学是新型光电子产业的 发展方向，在光通信、光存储、激光核聚变工程、激光武器、太阳能利用、半导体激光、光学防伪技术等诸多 领域，起到了不可替代的作用。 关 键 词 ； ； 微纳光学 纳米制造 微纳光学产业 Abstract Important areas of micro - and nano -optics are introduced, which include photonics crystal, plasmonics , metamaterials , negative -index materials , cloaking , subwavelength gratings and others. Micro - and nano -optics is not only the hot subject of the current scientific research, and more importantly , it reflects the new direction of the optoelectronics industry , which will be widely used in optical communications , optical storage , laser fusion facility , laser weapon, utilization of solar energy, semiconductor laser, optical anti-faking and others areas. Key words micro- nano-optics ; nanofabrication; micro- nano-optical industry 中图分类号 TN25 doi ：10.3788/ LO0022 ， 1 引言 随着半导体工艺技术的进步 米尺度的任意线 微纳光学主要指微纳米尺度的光学效应，以及利 宽都可以加工出来。由此，达曼提出一种新型的微光 [2] 学分束器件，后人叫做达曼光栅 。达曼光栅通过任意 、 用 纳米尺度的光学效应开发出的光学器件 系统及 装置。 纳光学不仅是光电子产业的重要发展方向之 线