Coupled vibrations and frequency shift of compound system consisting of quartz crystal resonator in thickness-shear motions and micro-beam array immersed in liquid.pdf

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2015-09-30 发布于湖北
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Appf．Mo冼．Mec^．一曰n9f．Ed．，36(2)，225—232(2015) DOI10．1007／s10483—015一1902—7 AppIied andMechanics and @ShanghaiUniversitySp血ger-Verlag Berlin 2015 (EngIishEdition) Heidelberg Vibrationsand shiftof Coupled f．requency compoundsystem of in resonatorthickness-shear consistingquartzcrystal motionsand immersedin micrmbe锄aurrayliquid+ Xuan m XIE，LingchengKONG， WANG， JunZHANG．YuantaiHUt of ofScienceand DepartmentMechaIlics，HuazhongUniversity Technolo幽 Ⅵhhan430074．China AbstractThe chaLraucteristicsofa thickness一 dyn锄ic quartzcryst越resonator(QCR)in 8heaLr the surfaucecoveredan ofmicr争beam8immersed modes(TSM)withupper by aLrray in arestudied．The isassumedtobeinviscidand forsim— liquid liquid incomDressible ofthe areestabUshed．Theaddedma8sefI色ct plicity．Dynamicequa上ionscoupledsystem of onmicro．be锄sisdiscussedindetajl-Characteristics shiRare liquid of行equency cl缸ifiedfordi＆rent Modal showsthata of liquiddepths． an甜y8i8 dr醒e如ctliquid hasresultedinthe of of shear changephaseinterauction(surfauceforce)，thuschanging the resonant Theobtainedresult8a工eusefulinresonatorand system f}equency．