热处理对溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜性能的影响.pdf

· 52· 材料导报B：研究篇 热处理对溶胶一凝胶法制备ZnO薄膜性能的影响。 张丽丽，周炳卿，张林睿，李海泉 (内蒙古师范大学物理与电子信息学院，功能材料物理与化学自治区重点实验室，呼和浩特010022) 摘要 别采用X射线衍射仪、紫外一可见分光光度计和扫描电子显微镜等对ZnO薄膜的物相组分、透射率和表面形貌进行 测量与表征。研究了热处理温度对ZnO薄膜的物相结构和光学特性的影响。实验结果表明，ZnO薄膜的物相结构 和可见光透射率都与热处理温度有关，随着热处理温度升高，ZnO薄膜的晶粒尺寸增大，晶格常数逐渐减小，薄膜的 透射率增大。 关键词 ZnO薄膜溶胶一凝胶法物相结构表面形貌透射率 中图分类号：0484．4；TN304．055文献标识码：A TheInfluenceofHeatTreatmentonPerformanceof ThinFilm ZnO Prepared Sol—GelMethod by ZHANGLili，ZHOU Linrui，LI Bingqing，ZHANGHaiquan of and forFunctional of andElectron Laboratory Information， (Key PhysicsChemistry Material，CollegePhysics Inner Normal 010022) MongoliaUniversity，Huhhot AbstractTheZnOthinfilmswere onthe substrates and filmmethodwith preparedglass bysol-gelrotating ofan transmissionand ofZnOthinfilm (CH3COO)zZn·2HzO．Thecomponents object，the spectrummorphology weremeasuredandcharacterized electronmicro— using diffractometer，UV—Vis X-ray spectrophotometer，andscanning effectsofheattreatment onthe structureand ofZnOthin scope，respectively．The temperaturephase opticalproperty filmswereresearched．Theresultsshowthatthe structureand ofZnOthinfilms experimental phase opticalproperty arerelatedtOtheheattreatment，withheattreatment sizeofZnOthinfilmin—