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第lO卷第2期 纳米技术与精密工程 V01．10No．2 andPrecision Mar．2012 2012年3月 NanotechnologyEngineering 用于氨氮检测的无透气膜安培型氨气微传感器及系统 虹1，韩泾鸿1，夏善红1 卞贺明1一，边超1，佟建华1，孙楫舟1，张 (1．中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室，北京100190； 2．中国科学院研究生院，北京i00190) 摘要：设计并制备了一种无透气膜的安培型氨气微传感器，并构建了氨氮检测系统，该系统实现了将溶液中的氨 氮转化为氨气，并应用所设计的微传感器检测气态氨氮．采用MEMS工艺制备组成该微传感器的微电极芯片，氨敏 感材料选用铂黑。通过电化学方法修饰于微电极表面．在微电极芯片的SU-8微池中滴入微量LiCI溶液，形成可使