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外部振动对电子显微镜的影响及处理 （节选） 振动 （Vibration ），特别是 20Hz 以下的低频振动对电子显微镜 （简称电镜） 的干扰影响很大。 图一 图二 图一与图二是由同一台扫描电镜 （SEM ）拍摄的高分辨图像 （均为 30 万倍）。 但是因为存在振动干扰，图二的水平方向有明显的毛刺，并且图像的清晰度和分辨 率大大下降。消除了振动干扰后得到同一样品的图像为图一。 各个电镜厂家，如中国的科仪 （KYKY ）、美国的 FEI （无中文翻译）、德国 的蔡司 （Zeiss ）以及日本的日本电子 （Jeol ）、日立 （Hitachi ）、岛津 （Shimadzu ）等，对于自己不同系列、不同型号的产品都分别设有不同的振动标 准。需要说明的是，一般的振动超标只是影响电镜实验 （特别是高倍数实验）的结 果，除非是极为强烈的振动 （例如强烈地震等），超过标准的震动一般不会对电镜 本身造成设备损坏。 如果测试结果表明准备安装电镜的场所振动超标，则必须采取适当措施，否则 电镜厂家不能保证电镜安装后的性能可以达到最佳设计标准。一般可以选择混凝土 减震台 （Anti-Vibration Foundation ）、被动式减震器(Passive-Vibration Isolation Platform) 、主动式减震器(Active-Vibration Isolation Platform)等几种方法来改善或解 决。 混凝土减震台需要现场施工，且必须采取特殊方法 （底部和周围有弹性软垫层 等），一般的土建施工方法有可能反而增加低频 （20Hz 以下）振动。施工中有大 量土建材料进出难免影响周围环境。混凝土减震台的示意图见。 混凝土减震台的质量越大减振性越好，经多次实测，小于 10 吨的减震台在 1～ 10Hz 低频段内有谐振，反而增大了振动。 在被动式减震器中，一般常用的橡胶、钢弹簧、空气弹簧 （汽缸）等方式的减 震器因为它们在 20Hz 以下的低频段效果很差，甚至往往由于谐振反而加大了振动， 所以不考虑采用。只有磁力减震器 （国产专利产品）的低频效果较好。图四是几种 减震方式的效果比较。 空气弹簧 10 5 0 混凝土减震台 磁力 传 -5 减震 （5 吨） 输 特 -10 碳素钢弹簧