碲镉汞光伏型探测器的激光束诱导电流谱的研究.pdfVIP

摘要 lJl 1111111IIIIIIIIIl 摘要 Y2579803 红外辐射是一种不可见的辐射，它的本质是介于可见光和微波之间的电磁波。 目标红外辐射信号的强弱可以由红外探测器将辐射信号转换成电信号进行测量， 探测器的探测效果与其自身光电特性有关。窄禁带半导体材料碲镉汞(HgCdTe) 是最优选的红外探测器材料之一。HgCdTe在红外探测领域所处的地位好比Si 在微电子领域中的地位一样，不可替代。然而，人们对HgCdTe材料特性的了解 还不是特别清晰。目前，HgCdTe红外探测器不断向高集成度、多色的焦平面阵 列发展，但获得大面阵、高质量的焦平面阵列依然存在诸多困难。在器件制备的 早期工艺过程中及时对器件性能进行检测和表征，有益于改进工艺，提高器件的 性能。对H西dTe红外光伏探测器来说，直接的电学接触会损伤探测器中的p-n 结单元。激光束诱导电流(LBIC)方法是一种无损伤的、高分辨率的光学表征 手段被广泛地用于HgCdTe材料及器件的检测中。本文将LBIC方法和数值