非制冷红外焦平面CMOS读出电路设计.pdfVIP

EPE 电子工业专用设备 · 制造技术· EquipmentforElectronicProductsManufacturing MEMS 非制冷红外焦平面CMOS 读出电路设计 薛惠琼,焦斌斌,何 伟,欧 毅,陈大鹏,叶甜春 (中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室，北京 100029) 摘 要:在过去的 年里红外焦平面阵列成像技术逐渐进入了成熟期,从红外焦平面的发展背景 10 出发,简要介绍了一种新颖的非制冷焦平面成像技术,论述了读出电路在红外焦平面信号传输中 的作用并介绍了其基本框图,分析了国内外焦平面读出电路的现状,最后提出了一些在红外焦平 面阵列读出电路设计中所需要注意的问题。 关键词:非制冷;红外焦平面;读出电路 中图分类号:TN386.1 文献标识码:A 文章编号:1004-4507(2008)05-0009-05 DesignofROICforUncooledIRFPA XUEHui-qiong,JIAOBin-bin,HEWei,OUYi,CHENDa-peng,YETian-chun (SiliconDevicesandIntegratedTechnologyDepartment,InstituteofMicroelectronicsof ChineseAcademyofSciences,Beijing100029) Abstract:Infraredfocalplanearray(IRFPA)imagingtechnologyhasbeenmaturedduringthepassed decade,whichisakeycomponentofthemodeminfraredimagingsystem.ThebackgroundofIRFPA technologyispresentedatthebeginningofthispaper.Also,anewtypeofuncooledFPAimagingtech- niqueisbrieflyintroduced.Thenthefunctionofthereadoutcircuitinthesignaltransmissionandthe blockdiagramaredescribed.Afterthediscussionofthedomesticandoverseasstatusofreadoutcircuit, thequestionofreadoutcircuitforIRFPAispresented. Keywords:Uncooled；InfaredFocalPlaneArray(IRFPA)；ReadoutIntegratedCircuit(ROIC) 1 引言 射，然后通过光电转换、电信号处理等手段，将目标 物体的温度分布图像转换成视频图像。红外辐射的 自然界中一切高于绝对零度的物体都会发射 光子能量与波长成反比，与频率成正比，红外线在 红外线，红外探测就是通过接收目标和背景的辐 大气中传播的时候会由于折射、吸收、散射等物理 收稿日期: 2008-02-25 作者简介: 薛惠琼(1984-)，女，山西人。中国科学院微电子研究所在读硕士研究生，主要从事CMOS读出电路设计及相关领域研究。 May.2008（总第160期） 9 · 制造技术· 电子工业专用设备 EPE MEMS EquipmentforElectronicProductsManufacturing 过程导致辐射