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一种电容式传感器数字化通用检测接口设计 来源:大比特半导体器件网 针对电容式传感器的微变电容检测困难的问题，提出了一种数字化的通用检测接口方案。分析了基于“激励-检测”的直接式微变电容测量原理，利用DDS发生载波，并采用离散傅里叶变换分离测量结果的幅值与相位以求得电容变化量。根据接近式电容传感器的测量需要，设计了具体的硬件电路进行验证。实验结果表明，检测正确率在95%以上，该接口方案能够较好地检测设计值在0.1pF以上量级的微变电容，设计简洁，具有较强的移植性。 1 引 言 电容式传感器具有体积小，功耗低，灵敏度高等优点，被广泛应用于加速度、角速度、压力等各种非电量的测量。但是，与纯阻性传感器不同，电容式传感器的检测接口设计较为困难和复杂，通常采用模拟分立式元件进行放大和采样，这不但增大了系统体积，还引入了额外的温度和非线性误差。本文提出了一种通用的电容式传感器数字化检测接口，通过综合分析幅值和相位的关系，简化了设计，减小了误差，提高了检测精度。 2 电容式传感器模型 电容式传感器是一种将待测非电量转换成电容变化量的器件，可以广泛应用于加速度、角速度、压力等参数的测量。为了增大信号量，常采用变间距方式进行敏感。 以电容式压力传感器为例，其简化的基本结构，如图1所示。A1、A2为2个电容极板，其中A1为固定极板，A2为活动极板，A3为敏感膜片，用于感测待测气压的变化，d