《《第5章+薄膜的生长过程和薄膜结构》》.pptVIP

本章研究内容 ： 薄膜具体的生长过程； 薄膜的微观组织； 微观组织与生长条件的具体关系。 第一节 薄膜生长过程概述 第二节 新相的自发形核理论 第三节 新相的非自发形核理论 第四节 连续薄膜的形成 第五节 薄膜生长过程与薄膜结构 第六节 非晶薄膜 第七节 薄膜织构 第八节 薄膜的外延生长 第九节 薄膜中的应力和薄膜的附着力 第一节 薄膜生长过程概述 薄膜的生长过程直接影响到薄膜的结构以及它最终的性能。 薄膜的生长过程大致划分为两个阶段：新相形核阶段、薄膜生长阶段。 一.薄膜的生长过程 在薄膜形成的最初阶段，一些气态的原子或分子开始凝聚到衬底表面上，从而开始了形核阶段。 在衬底表面上形成一些均匀、细小而且可以运动的原子团，这些原子团称为“岛”。 小岛不断地接受新的沉积原子，并与其他的小岛合并而逐渐长大，而岛的数目则很快达到饱和。 小岛通过相互合并而扩大（类似液珠一样）而空出的衬底表面又形成了新的岛。 像这样的小岛形成与合并的过程不断进行，直到孤立的小岛逐渐连接成片，最后只留下一些孤立的孔洞，并逐渐被后沉积的原子所填充。 凝 聚 二.薄膜生长阶段的三种模式 岛状生长（Volmer-Weber）模式 层状生长(Frank-van der Merwe)模式 层状-岛状(Stranski-Krastanov)生长模式 岛状生长（Volmer-Weber）模式