《《第七章薄膜材料的表征方法》》.pptVIP

第六章 薄膜材料的表征方法 较为广泛的方法: 薄膜的厚度测量 薄膜的形貌和结构的表征 薄膜成分的分析 薄膜附着力的测量 6.1.1 薄膜厚度的光学测量方法 6.1.1 薄膜厚度的光学测量方法 6.1.1.1 光的干涉条件 6.1.1 薄膜厚度的光学测量方法 6.1.1.2 不透明薄膜厚度测量的等厚干涉法 6.1.1 薄膜厚度的光学测量方法 6.1.1.2 不透明薄膜厚度测量的等色干涉法 6.1.1 薄膜厚度的光学测量方法 6.1.1.3 透明薄膜厚度测量的干涉法 6.1.1.3 透明薄膜厚度测量的干涉法 6.1.1.3 透明薄膜厚度测量的干涉法 6.1.2 薄膜厚度的机械测量方法 6.1.2.1 表面粗糙度仪法 直径很小的触针滑过薄膜表面，同时记录触针在垂直方向的移动情况并画出薄膜表面轮廓。 可测量表面粗糙度，也可测量特意制备的薄膜台阶高度，得到薄膜厚度的信息。 垂直位移的分辨率最高可达1nm。 方法简单，测量直观 缺点在于： （1）容易划伤较软的薄膜并引起测量误差； （2）对于表面粗糙的薄膜，其测量误差较大。 6.1.2 薄膜厚度的机械测量方法 6.1.2.2 称量法 精确测定薄膜的A、ρ和m，由h=m/Aρ可计算薄膜厚度h。 缺点：精确度依赖于薄膜的密度ρ以及面积A的测量精度；在衬底不很规则时，准确测量薄膜的面积也较难。 可用于薄膜厚度的实时测量。 采取将质量测