《《薄膜电阻材料》》.pdfVIP

维普资讯 1991焦 计 算 机 杂 志 第 19卷第4期 薄 膜 电 阻 材 料 昊 夫 鼙 摘 要 本文介绍 了薄膜 电阻材料的主要电参 数 电阻率p，薄层电阻Rs和电阻温度系数TCR。介绍 了常见的钽系、钛系、铬系、金属硅化物系和透 明导 电膜等三十多种薄膜 电阻材料的主要物理、化学 性质和薄膜淀积方法 2)电阻值精确高，薄膜 电阻的相对误差 一 、 引 言 可做到6 以内，相对误差比厚膜电阻低几倍， 比半导体扩散 电阻低一个数量级。 随着微 电子摘术的飞跃发展，对薄膜，厚 3