重离子注入化锌晶体与钒酸镱晶体的表面特性研究.pdfVIP

摘 要 光电子材料及器件技术的研究是光电产业发展的巨大推动力量。新型光电子材料是 集成光学器件发展的基础和先导，也是一个研究热点。离子注入技术是一种非常重要的 材料表面改性技术，在半导体材料改性、绝缘体材料改性及金属材料改性等领域具有广 泛应用。卢瑟福背散射／沟道技术是一种广泛应用的固体材料表面分析技术，在分析固 体表面层的元素组成、杂质离子浓度及深度分布等方面具有重要应用。 氧化锌(ZnO)是一种新型II一Ⅵ族、宽禁带半导体光电材料，具有出色的光学、电 学和结构特性，在透明导电膜、紫外探测器及光电集成等方面有着重要应用。钒酸镱 率的密度、降低泵浦的阈值，有利于实现波导激光。本论文分别利用能量为keV的重 面物理特性及光学特性。 (Sb)分别注入ZnO晶体，利用卢瑟福背散射／沟道技术研究了注入样品的损伤分布以及 利用卢瑟福背散射／沟道技术及相关分析软件研究了注入样品的损伤分布；利用棱镜耦 合技术测量了波导区的暗模特性并拟合了折射率分布。论文主要结果如下： 我们利用keV低剂量(。1014 究结果表明在6000C下注入产生的表面损伤较小且主要分布在表面区域，通过高温退火 可以很好地恢复注入引起的晶格损伤；注入区重离子随退火温度的增加向表面扩散。 我们利用3．0MeV低剂量(~1014 研究结果表明注入样品形成了寻常光折