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光波导显微技术 摘 要 衰减全反射（ATR ）结构是光学上一种较为特殊的反射型结构， 在一定的条件下，反射光的空间强度和频谱成分都会受到结构参数的 影响和控制，同时反射光也携带上了结构本身的信息。 80 年代末期，Benno 、Rothenhausler 等人开创性地提出利用衰减 全反射结构（表面等离子波）来显示处于金属薄膜表面的微小物体的 图像，即表面等离子波显微技术，并取得了很好的效果。该技术具有 操作简单化，制作成本低，易于普及等优点，自问世起便受到广泛的 关注。然而，因为在表面等离子波显微结构中，样品处在迅衰场中， 导致了光强对样品变化的灵敏度有限。 针对上述不足，本文提出了一种新型的显微方法：光波导显微技 术，它同样利用衰减全反射原理进行显微。同表面等离子波显微技术 相比，光波导显微技术的样品处在振荡场中，从而大大提高了光强对 样品的变化灵敏度。 文中对光波导显微技术和表面等离子波显微技术进行了深入的 理论分析，得到了理想条件下光波导显微技术和表面等离子波显微技 术各自样品的理论公式。实验结果验证了光波导显微理论的正确性。 本文还介绍了一项衍生实验，其设计思想是：在保持透明薄膜反 射图案高对比度特点的条件下，通过双面金属包覆结构增强透明薄膜 i 的反射率。理论分析和实验结果都证明，具有双面金属包覆结构的透 明薄膜可以获得同时具有高对比度和高光强反射率的反射图案，这对 研究透明薄膜的性质有很大的帮助。 关键词：导波光学，衰减全反射，反射率，表面等离子波显微，导波 显微 ii OPTICAL WAVEGUIDES MICROCOPY ABSTRACT In an Attenuated-Total-Internal-Reflection (ATR) multi-layer structure, light reflectivity can be strongly dependent on layer parameters such as the layer thickness and refractive index. A tiny variation of these parameters can lead to a large change in the light reflectivity. This characteristic enables the realization of many novel type optoelectronic devices based on this structure. Surface Plasmon Microcopy (SPM) is a new technique which is developed during the last two decades in the 20th century. It’s based on an ATR structure, and becomes a hot topic in the research field now. Simple operation, low cost and easy adoption are the main advantages of SPM. Based on SPM, we proposed optical waveguides microcopy. It’s also an ATR structure. However, comparing with SPM, the full width at half maximum (FWHM) of a reflection resonance dip of optical waveguides microcopy is much less, and it’s more sensit