基于椭偏光仪的石英晶体参数研究.pdfVIP

曲阜师范大学研究生学位论文原创性说明 （根据学位论文类型相应地在“□”划“√”） 本人郑重声明：此处所提交的博士□/硕士论文《基于椭偏光谱仪的石 英晶体参数研究》，是本人在导师指导下，在曲阜师范大学攻读博士□/硕士 学位期间独立进行研究工作所取得的成果。论文中除注明部分外不包含他人 已经发表或撰写的研究成果。对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体， 均已在文中以明确的方式注明。本声明的法律结果将完全由本人承担。 作者签名： 日期： 曲阜师范大学研究生学位论文使用授权书 （根据学位论文类型相应地在“□”划“√”） 《基于椭偏光谱仪的石英晶体参数研究》系本人在曲阜师范大学攻读博 士□/硕士学位期间，在导师指导下完成的博士□/硕士学位论文。本论文 的研究成果归曲阜师范大学所有，本论文的研究内容不得以其他单位的名义 发表。本人完全了解曲阜师范大学关于保存、使用学位论文的规定，同意学 校保留并向有关部门送交论文的复印件和电子版本，允许论文被查阅和借阅。 本人授权曲阜师范大学，可以采用影印或其他复制手段保存论文，可以公开 发表论文的全部或部分内容。 作者签名： 日期： 导师签名： 日期： 摘要 随着椭偏光谱测量技术的不断发展，椭偏光谱仪作为一种测量工具已经被广泛的应用 于测量薄膜材料和块状材料的光学参数。椭偏光谱测量技术与传统的偏光测量技术相比具 有测量速度快、测量精度高、数据测量重复率高、不用与样品接触对样品造成的破坏性最 小等特点。利用椭偏光谱仪可以快速得到从红外、可见光到紫外光的宽波段内 和 各自   随波长变化的色散曲线，光学材料或器件的很多光学参数都间接的与 和 有一定的关   系，通过对 和 图谱的分析可以得到样品一系列的参数例如：薄膜厚度，复合膜中各成   分的组分，介电常数，晶体双折射率等。石英晶体是常用的光学晶体材料，常用于制造波 片、棱镜等与位相、偏振等相关的光学元器件，因而石英晶体以及由其制成的光学器件的 光学参数的精密测量具有重要的现实意义。 本文从以下几个方面展开研究： 首先，椭偏光谱仪可以直接、快速的给出偏振光通过样品作用后 P 、S 两方向偏振光 位相差，我们用琼斯矩阵对这一过程进行分析，找到一种快速、准确判断石英波片光轴方 向的新方法。 其次，椭偏光谱仪测量的 P 、S 两方向位相差与晶体双折射率值有着直接关系，我们 还利用椭偏光谱仪直接给出位相差来精确测量常用激光通讯波长下石英晶体的双折射率。 最后，晶体双折射率受温度影响很大，以致温度变化影响了石英晶体为原料做成的各 种光学元件的性能，为了使石英晶体做成的各种光学元件精度更高，我们可以利用椭偏光 谱仪和其自身的温控装置来测量石英晶体双折射率随温度的变化，这将为高质量、高稳定 性器件的设计和制造奠定基础。 关键词：椭偏光谱仪，石英晶体，偏振光，双折射率 I ABSTRACT With the development of the elliptic partial spectrum measurement technique, the elliptic partial spectrometer has been widely applied to measure the optical parameters of thin films and block materials. Compared with the traditiona