多晶硅太阳池表面织构化工艺的研究.pdfVIP

多晶硅太阳电池表面织构化工艺的研究 凝聚态物理 硕士生：许欣翔 指导教师：沈辉教授 摘要 表面织构化(制作绒面)是提高太阳电池效率的重要手段。多晶硅表面织构 工艺，目前在工业化生产中还没有全面推广。如何判绒面的质量，以及如何实现 稳定的工业生产等问题还有待解决。本文研究了以硝酸和氢氟酸为基础的腐蚀液 对多晶硅表面的化学腐蚀。 酸的浓度对硅片的微观形貌、腐蚀速率、溶液稳定性等方面的有较大影响。 硝酸或氢氟酸浓度的微小变化都会影响硅片表面形貌，因此要保证绒面形貌，必 须严格控制溶液浓度，使之保持在一定的浓度范围。在大批量工业生产中，随着 酸的消耗，必然导致溶液浓度的变化，及时调整溶液浓度是保证工业生产的一个 关键问题。 微观形貌对电池生产工艺和电池性能有一定的影响。反射率较低的样品，晶 体缺陷处和晶界处会被腐蚀得比较深，对清洗、钝化、印刷电极等造成不利影响； 反射率较高的样品，有比较平整的表面形貌，但陷光效果不理想。如何兼顾光学 性能和电学性能，选择最合适的微观形貌，是制作多晶硅绒面要解决的一个主要 问题。 本文应用绒面技术工艺，在125minX 125mm的多晶硅片上制作绒面，制得 的电池平均短路电流密约为31．4mA／em2，达到了增加硅表面对光吸收的效果。 关键词：多晶硅；表面织构化；微观形貌；晶格缺陷 oftexturizafionfor siliconsolarcells Investigation multicrystalline Condensedstate physics Name：Xu Xinxiang ShenHui Supervisor：Professor ABSTRACT Surface isoneofthe to the ofsilicon texturing keYtechniquesimproveemciency solarcell．The of hasnotbeen usedin techniquemulticrystallinetexturing widely to the needtobe ashow ofthe industry．Someproblems solved，such judgequality howto the intheindustrialmanufacture．Inthis texturing，andkeepstability paper,I wetchemical on siliconwafer．111eacidic multicrystalline investigate etching mixturescontain andnitricacid．