大气压放电离子体特性研究.pdfVIP

y615796 摘 要 由于大气压放电(电晕，弧光，介质阻挡，辉光)不需要一个真空系统，便于工 业应用，有关大气压放电的研究(特别是大气压辉光放电的研究)，已经成为国 内外低温等离子体领域的一个研究热点。在大气压放电等离子体的产生和应用方 面国内外已经取得了一些进展，但是要更好地应用于工业必须充分了解等离子体 的特性，如它的放电机理、基本参数(电子温度，电子密度)、基本成分(反应 粒子或基团)，以及影响这些参数的因素等等，但这些问题都是国内外研究普遍 遇到的难点。 我们自行研制了一套大气压放电装置，进行了多种放电实验，并使用了静电 探针、发射光谱、质谱等诊断方法对放电等离子体的部分特性做了研究。 对于平行平板结构下的氦气中大气压辉光放电，建立了等效电路模型，估算 了电子密度。发现当选择适当的频率或电压后，在每半个周期内可以有多个电流 峰，而不是原来被认为判定辉光放电标准的单个电流峰。当固定电源频率而增加 外加电压幅值、或当固定电源电压而降低电源频率时，半个周期内放电电流峰数 量将增加，另外对于现有的电源设备和电极面积来说电极间距为lcm时容易