中英文翻译-热处理工艺对打印ITO薄膜电性能改善的研究.docVIP

热处理工艺对打印ITO薄膜电性能改善的研究 Sung~Jei Hong a, Jong~Woong Kim a, Jeong In Han b, 摘 要：在这项研究中,要装在喷墨打印机上的氧化铟锡(ITO)薄，是通过优化热处理条件来提电性能的。对喷墨喷涂，质量分数是10%、20%、30%的ITO油墨已制定好,他们在玻璃衬底上喷涂ITO油墨。然后,喷涂好的ITO薄膜分别被加热至300℃、400℃、500℃、600℃，并将其分别置于不同浓度的氮气和不同浓度的混合气体环境中。结果,处于单步执行的氮气氛围中的ITO薄膜的电阻降低了，而薄膜的浓度和热处理温度升高了。质量分数是30%的ITO墨，在一个氮气大气压下，加热温度为600℃，薄膜的电阻提高到455Ω/cm2，透光率提高90%，取得了令人满意的效果。 关键词：ITO墨 喷墨喷涂 后热处理 薄膜电阻 光透射率 1 引言 最近，由于直接喷涂方式，例如油墨喷涂，具有明显的优势，正在逐步引起人们的注意。直接喷涂不用光刻或蚀刻，而是将电极和基质接触。直接能够被应用范围广泛，电极信息显示半导体电路板RF~IDS、太阳能电池发光二极管等一个有前途的直接的应用是触摸屏面板，太阳能电池，显示等然而，铟，因此，要求详细过程在合成的ITO纳米粒子也就是说，酒精乙二醇混合在一起，并添加少量的聚合物分散剂然后，ITO纳米溶剂，机械力，直到的ITO纳米粒