《4～20mA微小型压力变送器》.pdf

出国屯子掌每’98敏感技术学术皇垂论文集98车9月 4～20111A微小型压力变送器 昊完平 (复旦大学电子工程系) 郑国珍 (中科院上海技术物理所) 摘要本文报道一种微小型化的高精度4～20皿^电流输出型二线制压力交送嚣． 虫复旦丈学PT一14型矩形双岛结构过压保护型硅压力传感器、美胃AD公司的 AD693型4420mA电漉环变送器集成电路以及温度补偿电路组装佃成．对PT-1j压 力传感器特性避行了测试分析，设计了零位失调和灵敏度的温度朴偿电路，并对 AD693变送器集成电路进行了测试分析，得到了满程调整电阻与输入电压范围的 曲线关系．研制成的压力交送器的主体外形尺寸仅中30mmX50mm．非线性优千万 分之五，零位与灵敏度温度系数优于每度万分之一． I引 言 在工业自控中经常要对远程压力进行监测和控制。四线制的电压型压力变送器在远 程测量时输出信号在长导线上的损耗较大．若采用二线制电流输出型的变送器，通过采 样电阻得到输出信号电压，可不受长线输送的影响．目前市场上标准的多量程压力变送 器信号处理电路比较复杂“J，外形尺寸比较大，价格也比较昂贵．但在实际使用中有 时需要量程单一而廉价小型的压力变送器．现在美国AD公司(AnalogDevice)生产的 AD693型(z，和美国BB(Burr—Brown)公司生产的XTRIOIt3)型等是典型的电流环变送器 集成电路，它们具有相当良好的特性．电路中包括仪表放大器、比较放大器、电压电流 转换器和标准参考电压源或电流源等等．由于采用了在硅芯片上进行激光修正镍铬电阻 等技术，集成电路精度提高，功能很强，但有关的中文资料比较缺乏，而且部分实用参 数在英文技术说明书内也没有充分提供，为此针对实际需要对其进行实测分析是很有必 要的．在此基础上我们把己获得1996年国家发明奖的PT—14型矩形双岛结构过压保护型 硅压力传感器和AD693集成电路以及温度补偿电路组装集成，构成微小型化的高精度 4～20mA：线制电流输出型压力变送器． 2设 计 2．1 PT一14型扩散硅压力传感器及其温度补偿电路 PT～14型扩散硅压力传感器是采用矩形双岛微机械结构的新型扩散硅力敏电阻全 桥型压力传感器．所采用的“矩形双岛结构过压保护型硅压力传感器”设计已获国家专 利。它首次解决了半导体扩散硅压力传感器的非线性内补偿和过压保护问题【，同时 显著提高了灵敏度和稳定性。该项发明已获1996年国家发明奖．我们采用全套集成电路 平面工艺技术、双面套准光刻技术、离子注入和硅的各向异性腐蚀等新型工艺技术来批 量制造硅压力传感器芯片．在芯片表面用LPCVD法形成一层氮化硅薄膜作为抗钠离子沾 ·160 污钝化层。采用静电封接技术把压力传感器芯片直接封接到衬底上，不用粘合剂．用不 锈钢波纹片作为隔离层，真空灌油全密封，或真空灌注柔性硅橡胶作为保护层，可长期 耐侵蚀。传感器芯片平面尺寸为3mm×3mm，传感器内芯尺寸为巾12mm×5mm或巾12mm× 5mm+MlOmm×5mm。其非线性和迟滞可达万分之五以下：不重复性也在千分之一左右：满 满量程，平均寿命已达1×106小时．由于它的非线性和过载能力已足够良好，所以在 组装变送器时就不必再为此附加措施．但扩散硅压力传感器的零位失调电压和灵敏度的 温度系数都比较大，所以必需对其温度特性进行测量并附加适当的补偿电路。 1340 1320 13∞ ；1280 三1260 40 毫12 一*一on矗 1220 1200 1180 ．60 M∞∞叭∞辨鲫计∞睇 OO nO 2DO B0．0 ∞O 甄O 00 100 20．0 30,040．0500 T(℃1