有关固态薄膜表应力的几个问题.pdfVIP

摘 要 我们对固态薄膜表嚣应力的撩讨基予黻下三令方霞豹疆究：表露应力佟翅下 薄膜小征成力的演化，薄膜形状的分贫，以及薄膜力学响应的尺度效应等。 薄膜本征应力魁薄膜形成过程中由于缺陷等原因而引起的内应力。推导薄膜 奉短应力静已有模鬻，基本上都忽略界瑟作角及衬璃变形因素酶影响。基予能量 方法，我们推导了本征应力与薄膜一衬底系统几何尺寸的关系，得}妊的最大平均 本征应力比现有模裂的计算结果小，并在沉积厚度…定时随衬底厚度的减小而减 小。可认为薄{于底比厚衬底在承受薄膜力时分担7更大一部分酶应变能，从嚣减 小了薄膜中的本征应力。 Ird体表面应力的测量普遍采墩弹性薄膜弯曲的实验手段。在线弹性范围内， 表瑟应力改变量与薄貘篷率之阉懿关系已经镀广泛研究。我们致力予无约寐各向 刷性弹性簿膜在表厕应力发生变化时几何非线性变形分析。基于能摄的考虑，我 们学出了魏率弓表颟应力交纯量的关系，与已有线弹性分析结粲的掇著区潮是， “●薄膜很薄而}：下袭面应力差足够大时，薄膜曲率的解不再唯～，耐会发生分叉， 此时洲量m个方向上的曲率无法表示薄膜真实形状，而由线弹性理论换算出的 表晰应力变化俊必定难以糖确，特别是当鹾个主鳇搴差别较显著时。 农垂效成怼子缀米足度糖磐的力学行凳鸯