SiC材料及器件的应用发展前景.pdfVIP

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Progress Ch inese J o ur nal of N at ur e Vol. 33 No. 1 doi: 10 .3 969/ j. issn 02539 60 8.2 01 1. 01.0 07 SiC ! 王守国 张 岩 , ! , , 5180 55 ; , 710 12 7 SiC SiC , , SiC , SiC , SiC , SiC , SiC 80%2010 , 1 SiC , SiC( silicon carbide, , ) , SiC , SiC 1891 , , , SiC SiC : , , , ( Si) ( GaAs) , , : , SiC , () , 1 , ! , , , SiC ( SiC 85%) , , , ( ) SiC , , , SiC , , SiC , (SiC) SiC SiCSiC , , SiC 95%, , , SiC 97%, , 200 , 2 HSiC, 4 HSiC, 6 HSiC SiC 2 100 ∀ SiC, 3 CSiC SiC , SiCSiC , C, H,R , , SiC 3C SiC 100 , 50%, 3 SiC , 25%, 25% 4H SiC 4 55 , , , 1 5 RSiC1 5 # 42 # 自然 杂 志 第33 卷第1 期 1 SiC 300 3CSiC 2HSiC 4HSiC 6HSiC - 1 (g # mol ) 40. 097 40. 097 40. 097 40. 097 - 3 (g # cm ) 3.22 3.22 3.26 3. 03 ( ∀ ) 2 730 2 730 2 730 2 730

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