《七星流量计 CS200 产品单页》.pdfVIP

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2015-11-09 发布于河南
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《七星流量计 CS200 产品单页》.pdf

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CS200 型数字式气体质量流量控制器型号 CS200 类号 A C D ( 0～流量规格 ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM 5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM （N ） ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM 2 ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM 准确度 ±1.0% S.P. ( ≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) 线性 ±0.5% F.S. 重复精度 ±0.2% F.S. 响应时间 ≤ 1sec ≤ 0.8 sec Normally Closed or Normally Closed or Normally Closed or 阀类型 No Valve No Valve No Valve Normally Open Normally Open Normally Open (0.05～0.35) Mpa （≤10slm） (0.05～0.35) Mpa (0.05～0.35) Mpa 工作压差范 (0.1～0.35) Mpa （≤10slm）（≤10slm）＜0.02MPa ＜0.02MPa ＜0.02MPa 围（20slm, 30slm） (0.1～0.35) Mpa (0.1～0.35) Mpa (0.2～0.45) Mpa （10slm）（10slm）（50slm） Zero: ≤±0.05% F.S./ ℃ Zero: ≤±0.02%