水溶液电沉积Fe-Nd-P、Fe-Ce-P稀土合金薄膜.pdf

水溶液IL沉积Fe—Nd—P．Fc．Ce．P稀{．台奢薄膜 摘要 稀土薄膜已广泛地应用在磁学、光学、电催化和超导器件等领域。这类稀土 薄膜功能材料已引起了材料工作者的广泛关注。 本文首先综述了稀土的性质和应用，阐述了水溶液电沉积稀土合金的理论原 理，并分析了从水溶液qJ电沉积出稀土合金的可行性。 功地在cu基体上电沉积出厚度达59m以上的黑色的稀土合金薄膜。镀液主要组 分为：氯化钕(或氯化钟)，氯化亚铁，亚磷酸，柠檬酸，氯化铵。研究发现：柠檬 酸络合剂和Cu基体能使稀土元素的还原电位正移，使稀土元素电沉积成为可能。 研究了盒属盐浓度比、络合剂浓度、镀淑pH值、温度和旋镀时Nx,l镞层沉积速率 及成分的影响，得出了能实现Fe、Nd、P三种元素共沉积且镀层稀土元素Nd含 量高、镀层质量好的工艺因素。利用扫描电镜进行了表面形貌分析，发现镀态样 品表面平整、光滑。 在此基础上，本文研究了合金成分及热处理温度对合会镀层显微硬度的影响。 通过测试镀层的显微硬度发现：稀土合金镀层的硬度比基体Cu的硬度大，Fe．Nd．P 镀层硬度比不含稀土的镀层硬度大，稀土元素Ce含量高的Fe-Ce-P镀层硬度比不 含稀土的镀层硬度大。在3009C到