射频磁控溅射沉积系统制备BCN薄膜的研究.pdfVIP

( ) 第 卷 第 期 沈阳师范大学学报 自然科学版 33 3 Vol.33 No.3 年 月 ( ) 2 0 1 5 7 Journalo Shen an Normal Universit Natural Science Edition Jul.2015 f y g y 文章编号: ( ) 1673 5862 2015 03 0333 04 / BCN Com osited BCN carbon fibers