az91镁合金面类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究.pdfVIP

硕士论文 AZ91镁合金表面类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究 摘 要 镁合金在交通、通讯和航空航天等领域具有广泛应用，但其硬度低、耐磨性和耐腐 蚀性差，在其表面制备一层耐磨损、抗腐蚀的薄膜可增强镁合金的表面性能，抑制镁合 金的腐蚀和磨损。类金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、抗磨损和耐腐蚀性能好，是 理想的功能防护薄膜。本论文采用电弧离子镀技术，纯氩气气氛下，在AZ91镁合金上 制备了类金刚石薄膜及钛掺杂类金刚石薄膜。利用扫描电镜、原子力显微镜、Raman光 谱以及X射线光电子能谱分析了薄膜的形貌和微观结构，研究了其硬度和弹性模量、摩 擦性能、热稳定性以及耐腐蚀性能。 采用电弧离子镀在AZ91镁合金上制备了致密、结合强度高的类金刚石薄膜，脉冲 偏压对沉积类金刚石薄膜的形貌和结构有较大影响。在氩气气氛和．100V脉冲偏压下， 沉积的类金刚石薄膜内sp3键含量最高为33．32％；偏压继续增大，I池值随之增大，薄 膜中的sp3杂化键含量减少。 类金刚石薄膜内sp3键含量越高，薄膜的硬度和弹性模量越大，在sp3键含量最高时 右、磨痕浅，可大幅度提高AZ91镁合金的摩擦磨损性能。其摩擦系数与摩擦条件和沉 积