多层结构高频声面波器件的分析与研制.pdf

摘要 声表面波器件(SurfaceAcousticWave 于目前通讯器件朝着高频化发展，优良的高频声表面波器件必须具有高声速、高机电耦 合系数、低传播损耗、高温度稳定性等特性。通过在压电材料与衬底之间加入高声速的 金刚石膜层．可以提高声表面波传播速度，使声表面声波器件在不改变叉指换能器(IDT) 线宽条件下，提高中心频率，以满足通信系统的高频需求。 以下几方面工作： 1．理论模型研究 以多层结构的波传播特性为基础计算出声表面波传播速度和机电耦合系数，应用耦 of 合模型(coupling 优化设计多层结构基片和叉指换能器结构，编制了模拟程序软件。 2．高频声表面波滤波器的多层结构基片及器件的设计和制备 根据理论分析设计出的高频声表面波滤波器的多层结构基片和叉指换能器结构，采 晶体结构、厚度和表面精糙度要求的盒刚石膜。同时采用射频磁控溅射方法制各了C轴 砸波滤波器，成功的将中心频率提高至1．5GHz。 最后，利用网络分析仪测量的多层结构声表面波滤波器的输出结果，与压电单晶结 构的输出特性进行了对比．中心频率是普通压电单品的3倍，并满足高频需求；同时， 实际输出特性与仿真的输出结果作了对比，确定理论模拟对于多层结构声表面波滤波器 的适用性。 3．为了进一