白光有机电致发显示器件的研制.pdf

白光有机电致发光显示器件的研制 摘要 白光有机电致发光显示器件(white organic 合实现全彩色有机电致发光显示，具有广阔的市场应用前景。在其 制作过程中，光刻工艺和掺杂工艺是十分关键的工艺，因此白光有 机电致发光显示器件的研究备受人们的关注。 本论文的主要工作是利用现有的材料，从白光0LED器件制作工 艺、发光机理和结构入手，首先，针对光刻、曝光工艺技术进行了 一系列相关实验，详细研究了96×64点阵器件的光刻工艺和OLED 器件阴极隔离柱成像过程中的曝光工艺，摸索出了最佳工艺参数。 其次为了进一步提高器件效率和色纯度，采用三刺激值方法计 论基础。 (15nm)／NPB(50nm)／Alq3(30 nm) nm)： nm)／ADN(300 器件和结构为ITO／CuPc(150nm)／NPB(500 TBPe(