传感器技术及实训 作者 陈东群 第6章.PPTVIP

第6章 气、湿敏传感器 学习要点 ①掌握气敏传感器的主要特性、基本工作原理。 ②了解气敏传感器的组成、特性参数，理解它们 的测量、应用电路。 ③掌握湿敏传感器的主要特性、基本工作原理。 ④了解湿敏传感器的组成，理解它们的测量、应 用电路 6.1气敏传感器 6.1.1半导体气敏传感器 利用待测气体与半导体(主要是金属氧化物)表面接触时，产生的电导率等物性变化来检测气体 。 半导体气敏元件有N型和P型之分。N型在检测时阻值随气体浓度的增大而减小；P型阻值随气体浓度的增大而增大。 目前国产的气敏元件有2种。一种是直热式，加热丝和测量电极一同烧结在金属氧化物半导体管芯内；另一种旁热式，旁热式气敏元件以陶瓷管为基底，管内穿加热丝，管外侧有两个测量极，测量极之间为金属氧化物气敏材料，经高温烧结而成。 1. 电阻型气敏器件 按其结构，可分为烧结型，薄膜型和厚膜型三种 （1）烧结型 有直热式和旁热式两种结构 （2）薄膜型 薄膜型气敏器件的制作首先须