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AlGaNGaN MSM紫外探测器特性
第 卷增刊 半 导 体 学 报
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周 劲 郝一龙 武国英 杨志坚 张国义
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摘要 在蓝宝石衬底上 用 金属有机物气相沉积 法外延生长 异质结样品 溅射
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和 金属膜 在氮气气氛中高温快速退火 分别与样品形成欧姆接触和肖特基接触 随着退火时间的增加
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金属 半导体 金属 结构的 特性曲线保持良好的对称性 但 曲线逐渐失去其对称性 探测器的
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紫外响应曲线具有良好的对比度和选择性 出现明显的光电导增益效应2
关键词 肖特基 紫外响应曲线
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