纹膜结构微麦克风的动态特性_使用EDA_CAD工具进行Top-down设计.pdfVIP

第 卷第 期 半 导 体 学 报 22 7 VOl. 22 NO. 7 年 月 2001 7 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS July 2001 纹膜结构微麦克风的动态特性 使用 工具 : / EDA CAD 进行 - 设计 Top down 陈 兢 刘理天 李志坚 清华大学微电子学研究所 北京 ( 100084D 摘要 综合使用通用电路模拟软件 和有限元分析软件 对一种硅基微麦克风进行了系统模拟 得 : PSPICE ANS S . 到了各项参数的优化值 优化后的微麦克风在音频范围内具有平直的响应 在此基础上 提出了一种 的 . - TOP dOwf 优化设计方式以准确预测系统的行为 分析了各组件的相互作用及其对系统性能的影响. 关键词 动态特性 微麦克风 纹膜 : MEMS; CAD ; ; ; EEACC : 1130B ; 2575 ; 6540 中图分类号 + 文献标识码 文章编号 : O421 . 4 ; TN 402 ; TN 641 : A : 0253-4177(2001D 07-0951-06 系统级模拟的最佳工具 由于传感器 执行器 信号 . ~ ~ 引言 处理电路 控制和补偿模块以及封装和环境因素都 l ~