高灵敏度阵列气敏传感器的制备和气敏特性分析.pptVIP

宝山壁画 宝山壁画是引人注目的昂贵文物。此壁画发现于阿鲁科尔沁旗东沙布乡境内。1994年列为“全国十大考古新发现”之一。宝山壁画中最引人注目的是《杨贵妃教鹦鹉图》。该画高0.7米、宽2.3米，用于笔重彩绘制，最突出的表现了 晚唐风格。唐代擅长绘贵妇仕女的大师周昉绘制了《杨贵妃教鹦鹉图》，不仅享誉中原，而且还影响全国各地。发现于阿旗宝山古墓里的这幅画，就是契丹人聘请中原画家按照周氏风格绘制的， 技法深得周氏画风的真传。在唐人真迹稀如星风的今天，能够从中完整了解唐代人物画的杰出成就，堪称美术史研究的辛事。这幅壁画现今保存在阿鲁科尔沁旗博物馆，历经千年，恍如新绘，是该馆的镇馆之宝。 欢迎大家观看！ ZnO气敏传感器V-G特性 TiO2气敏传感器V-G特性 工作总结 根据半导体工艺以及相关技术，结合先进的测试方法和理论分析，建立智能化识别模式使之适应复杂环境中气体的检测，实现高精度、低功耗和集成化气体传感器阵列结构和不同选择性的气敏薄膜的制备。 提出项目创新点 1、提出高灵敏度传感器阵列设计与制备，以实现复杂成分气体的检测。 2、利用半导体工艺等技术，在本征硅片上阵列结构电极和纳米气敏薄膜，有效提高气体测量的准确性、响应速度和灵敏度。 3、建立智能化的识别模式使之适应复杂环境中混合气体种类和含量测量。 后期目标 本项目初步得出阵列化的气敏传感器,能够对混合气体有良好的选择性。但是还存在一些不足，为了能够更有效更方便更准确的识别混合气体，在后续工作中我们准备在同一基底上阵列更多的气敏传感器，对其进行更加完善的测试。构建复式图，对比数据库相关信息得到更准确的信息。 石墨烯 本设计结合高性能气体传感器发展的需要和最新的研究成果，通过阵列结构、气敏薄膜和识别模式的不断完善，可实现国防、工业及日常生活发展对选择性强和测量精度高的新型气体传感器需求，对提高国民经济有很大的应用价值，具有很大的现实意义。 University students wishing to learn a happy life * * * * * “挑战杯”西安邮电大学 答辩人：杨锐强、卫怡、康颖 2、环境污染 3、煤矿安全 图一 消防队员处理泄露事故 图二 硫化氢有毒气体泄露 4、气体泄漏 本项目使用纳米材料薄膜，比表面积大，表面能高，具有传统材料所不具备的物理化学特性。比普通薄膜有更快的响应速度，具有高灵敏度。 1、气敏传感器的简介 2、本项目的研究意义以及研究目标 3、高灵敏度阵列气敏传感器的制备工艺 4、数据分析及总结 5、未来前景展望 敏感元件 传感元件 非电量 电参量 电量 传感器组成框图 被测量 气敏传感器的基本结构： 转换电路 气敏传感器的基本原理： 气敏薄膜 基底 气敏薄膜 加热电极 叉指电极 气敏传感器的分类 气敏传感器 半导体气敏传感器 催化燃烧式气敏传感器 电化学气敏传感器 热导池式气敏传感器 磁性氧气传感器 由于单个气敏器件对多种气体都有响应，我们对单个敏感器件的这一特点加以研究，制备出高灵敏度阵列气敏传感器。它不仅能克服单个气敏传感器的缺点，更能够对混合气体加以辨别。存在多种应用和潜在应用。 半导体气敏传感器阵列 （1）氧化 高温氧化炉 （2）匀胶 光刻胶 氧化层 涂胶机 （3）光刻 光刻机 （4）刻蚀和除胶 （5）掺杂 硅晶片的蚀刻掩膜去除后 叉指电极 掺杂（硼） （6）划片及印刷制备的薄膜 激光切割机 我们在制作好的硅片上涂抹特定的纳米材料薄膜，然后封装。制成我们所要的气敏传感器！ 涂膜前 涂膜后 纳米氧化锌的生长 二氧化钛 * * * *