0.18umSiGeBiCMOS工艺和器件的若干研究.pdf

Abstract After becamematureand 1980s,SiliconBipolar Technologies devicecutoff fT(Hz)reached frequency 30GHz,ECLgate delay decreasedto20to thelate 30ps.In 1990s,SiGe ’ 。 ‘ 。 一 一 一 一 ●‘一 一 fromresearch lsslabaa

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