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摘 要
微电子技术的迅猛发展,带动了封装技术及封装设备的发展。作
为封装工艺中的关键设备,胶液分配技术也得到了广泛的发展。胶液
分配的方式有时间压力式、螺杆泵式、活塞泵式和喷射式等。螺杆泵
式胶液分配系统因其结构上的优点得到越来越广泛的应用,其优点包
括适应范围广,可点涂胶液的黏度范围大;通过调节参数可以产生不
同尺寸的胶点;可以滴点也可以画线及绘制轮廓图案。目前,螺杆泵
点胶己越来越受业界推崇,对螺杆泵点胶规律的研究也愈显重要。
本论文点明了螺杆泵点胶方式的优点和它的应用范围。在前人的
研究成果上,通过理论分析、数值仿真、实验验证等手段对螺杆泵挤
胶及点胶规律进行了全面的阐述。为了方便分析研究,文中提出胶液
在螺杆泵内流动的三段分析法,即胶液在螺杆内分成进料段、螺杆段、
针头段。根据螺杆泵内部结构特点,利用纳维尔——斯托克斯方程,
推导了螺杆段内流体流量公式。但该公式无法联合三段求解且误差较
大,因此,采用了数值仿真的方法,用三维几何造型软件建立流场几
计算。仿真求解过程中,利用了滑动网格技术,对螺杆运动中的非牛
顿流体流动进行了数值模拟。最后在三维运动平台下进行了点胶的实
‘
验,通过实验,证明了仿真结果是真实可信的。
文章通过理论分析、数值仿真和实验得出:螺杆转速在诸参数中
对挤胶量的影响最大;挤胶量随着挤胶针头内径的减小而成指数减
小,当内径增大到一定值时,挤胶量并无明显增大;螺杆内部参数中,
螺槽深度的影响比螺槽宽度大得多,并且螺槽深度增大使得流道横截
面积增大时,挤胶量反而减小;点胶时,滴点高度对胶滴一致性的影
响最大。文章最后还给出了螺杆泵的结构设计方案,提出了螺杆泵驱
动系统控制方案,为螺杆泵点胶系统的设计提供了参考。
关键字螺杆泵,点胶机,三维流动,非牛顿流体,数值仿真
·本课题得到国家自然科学基金重大课题“芯片封装界面制造多参数影响规律与控制”的资助
ABSTRACT
TheIC andtherelevant are
packagingtechnology equipmentsrapidly
withthe ofmicroelectronics
developingdevelopment technology.The
iS foritis inIC
today key
dispensingtechnologywidelyusing equipment
areseveral of
packaging.Theretypes
is
Archimedes and Archimedes
pump,pistonpumpjerring.叻e pump
it which
usedmoreandmore becausefeatures
widely manyadvantages
include foritcan kindsof the
strongadaptability dispense fluid,and
abilit、,to differentsizeof the tomake
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