一种量化的激光位移传感器倾角误差补偿模型.pdfVIP

第36卷 第5期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．36No．5 2015年5月 ChineseJournalofScientificInstrument Mav．2015 一 种量化的激光位移传感器倾角误差补偿模型木 孙 彬，李 兵 (西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室 西安 710049) 摘 要：激光位移传感器具有非接触、测量范围大、测量效率高等优点，广泛应用于精密检测领域。然而 ，倾角误差是影 响激光位移传感器测量精度的主要 因素之一 ，为了提高激光位移传感器的测量精度 ，有必要对其进行分析研究，推导出 能够在工程 中应用的可量化的倾角误差补偿模型。首先从激光三角法测量原理开始 ，深入分析了激光光束的光路和光 强损失的原 因，然后根据光路的几何特征建立了物像方程，从倾角误差机理推导出一种可量化的误差模型。最后用激光 干涉仪和正弦规在四坐标测量仪上。对激光位移传感器进行 了倾角误差实验 ，把测量得到