铅基铁电薄膜材在热、电载荷作用下的疲劳特性.pdfVIP

，铝攥铁}b薄膜利料在热、电载荷作用下的疲劳特性 摘 要 铁电材料由于具有铁电特性和压电特性而在信息储存、通信、 导航、精密测量、机械等众多领域得到广泛的应用。随着微电子技 术和器件高度集成化的发展，人们对薄膜材料性能的要求越来越高， 因此铁电薄膜材料的制备和性能研究成为目前国际上高度关注的研 究课题。然而铁电薄膜在使用过程中存在疲劳问题，它会不可避免 地受外界环境以及自身工作条件的影响，即经历外界温度的循环和 存储过程中不断的极化反转后其性能将发生变化。本文对铁电薄膜 在循环的热载荷和电载荷作用下的疲劳特性进行了研究，分别用 荷作用于铁电薄膜，根据实验结果探讨了这两种载荷对铁电薄膜性 能的影响。 本文首先介绍了铁电薄膜材料的应用前景、优良性能、制备方 法和研究现状，由此提出了本文的选题依据。然后采用金属有机物 x射线衍射仪、扫描电镜和RT6000S铁电测试仪测量表征铁电薄膜。 接着用激光模拟热载荷作用在PzT薄膜上，发现薄膜的剩余极化交 小，矫顽电压不变，铁电疲劳衰减率降低。分析这一现象产生的主 要原因，是激光热作用影响铁电薄膜材料内部的极化分子和带电荷 缺陷的运动所致。重复多次激光作用后，观察其形貌，发现薄膜出 现界面裂纹，这与郑学军用激光热疲劳模型预测的结果一致。然后 用RT6000S测试仪加载电载荷，总结得出PZT薄膜的铁电疲劳规 律，即加载电压增加或加载频率降低时，铁电极化衰减程度变大。 接着参考Dawber和Scott的空间电荷理论，加入对损耗宽度的修正， 拟合出铁电薄膜的电载荷加载疲劳模型。并且我们发现修正的损耗 层宽度与铁电疲劳极化衰变50％的循环次数值[N(50％)]有一定关 系，可以用这个关系预测铁电薄膜的使用寿命。 关键词：PZT铁电薄膜，MOD法，极化强度，电滞回线，激光热 作用，极化反转，疲劳特性。 铅基钦电薄膜材利d一热、电载荷作用下的疲劳特陛 1i ABSTRACT and Ferroelectric theferroelectric materials，with piezoelectric be in as characteristics，can fields，such many widelyapplied information measurement the of and eta1．With machinery development and needferroelectricfilms highdegree technology integration，people withmoreexcellent andthe properties．Therefore．thepreparation ontheferroelectricfilm havebecomeresearch propertiesstudy subjects thathave been attention