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波像差 光学系统的像质评价方法 波像差定义  光学系统由于存在几何像差的关系，使得实际波阵面并不是标 准的球面波，而是一个无规则形状的波面。我们通常把实际波 面和理想波面之间的光程差称为波像差，作为衡量一个光学系 统成像质量的指标。 波像差成因 波差多项式 在轴向对称的系统中，没有偶次项，只有奇次项，在非 对称系统中，则有偶次项，例如，通过倾斜引入一个环形 面或其他的非对称球面。式中A表示焦点到像面的距离和放 大率系数，B表示初级像差系数，C、D表示高级像差系数。 波像差在ZEMAX 中的分析 以ZEMAX软件中Samples/sequential/objectives/Double Gauss 28 degree field.zmx为例来分析波像差。其3D显示图如下图所示： 双高斯结构的3D显示图 波前图 a) 0度视场的波前图 b) 10度视场的波前图 c) 14度视场的波前图 如图所示为所选系统的波前图，X和Y分别为弧矢和子午方向的归一 化的孔径高度。由图中可以看出实际的波阵面不是标准球面，是无规则 形状的。图a)为像面在0.5876 µm波长0度视场下的波前图，其峰谷值为 0.9955 waves, RMS = 0.2592 waves 。出瞳直径为: 36.258mm OPD 如图所示为双高斯系统 的光程差。图中反映了光程 差随孔径坐标的变化。OPD 为某光线的光程与主光线光 程的差值。若在setting中设 置All wavelength 时，图形根 据参考球面和主光线来定义 主波长。 图中分别表示系统在0度、 10和14度三个视场下的子午 和弧失方向的波像差。 OPD 由图可知：1）红绿蓝三色光的差异，所以可看出光学系统的 存在色差；2）在0度视场时，蓝光偏离参考面最远，说明此时蓝 光的子午和弧矢场曲比较大。3）在14度弧矢方向可以看到蓝光 与参考面有交点，说明蓝光有高级波像差可以抵消部分初级像差。 4）图中曲线与参考面所围成的面积越大，则说明偏离越远。 如下图所示，在10度视场的子午方向关于主光线对称的孔 径位置处作蓝光的垂线，主光线两侧的偏移量不同，说明存在 彗差，彗差的大小可以通过查看Text 中的具体数据根据彗差计算 公式来进行计算。在弧矢方向同样的位置上作蓝光的垂线，可 以看出其偏移量与子午方向的偏移量不同，说明像不重合，可 以看出存在像散。 10度视场的OPD