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压力传感器的智能化 白韶 虹 (北京市第三城市建设工翟公司计量站) 1概连 还包括信号放大转换，温度，线性和量程补 对于智能化传感器，一种观点认为带有 偿，A／D转换等电路。集成化水平 已发展 集成 电路 的传感器是智能化的，另一种观点 到采用CMOS，NMOS技术 卿认为只有包含集成微处理器的传感器才是 智能化的 本文认为，集成传感器作为传感 器的基本芯片是智能化传感器的基础和初级 形式 ，而完善的智能化传感器则 i八了单板 机、单片机或其它微处理器件。智能化传感 器不仅能完成信号转换放大、温度补偿，还 应能 自动进行量程调整 、自校准、与计算机 网络双向通讯 以及多参量测试等。图1(a) (a)原理 简要说 明了这种传感器的原理。 智能化传感器一般应具有传感和变送两 部分 (见图1(b))，传感部分应具有以下 三个功能： a．采用适当敏感元件测出系统中各种物 理量 (包括主要的和附加的)的大 小， h．将传感 器识别的信号存八PROM中， c．为校正计算结果 ，将传感器 的计量特 性存入同一PROM中。 变送部分也应具备 以下三个基本功能； a．为全帮元器件提供 电源 ’ b．田微处理器计算PROM中被测物理量 信号的太小，修正附加效应 0．以数字化 形式进行 数 据的 传输，处 理、接收输入指令或数据o 田l 智能化传癌器 薏统 ． 2集成压 力传感普 2．1固态传感普 自七十年代末 以来 ，集成压力传感器开 集成传感器 展较 为成熟并 已经 商 品 始商品化。近几年无论是敏感元件的方式， 化，主要是压阻．电容 及在它们的技术基础 集成 电路的功能．还是集成化程度等方面都 上发展起来的厚膜、薄膜传感器 图2(a) 取得 了较大 的进展 。敏感元件包括压阻，固 是一种典型的雎阻传感器，它 由压 阻 电轿 态 电容、厚膜，薄膜 、集成霍尔和磁敏元件 (R ～R )，差动放丈器和 电流控 制 频率 等，最近还出现 了触发器 (f1ip—f1。p)式 转换器组成。这种传感器可输 出电压和 频率 传感器。传感器集成电路中除敏感元件外， 两种信号。近年，Ko．zujiYamada等研究 · 10’自蝣让与伐袭 logo 第：用 廿 由 圈2 固志压力传盛器 (a)压m式 (b)M0s环形振萄器 (c)电窖式 (d)带A／D转蜂单片八擐道传婷器接口 出包括温度补偿和放大 电路在 内的集成压阻 成传感器 。LeedsNorthrup公司己推 出商 虻 咄 传感器 P．J．Froneh等利用双极I=L技术研 品固态 电容传感器 制出频率输 出式传感器，它是利用硅应变电 图2(d)是一种带A／D转换的单l片八通 阻变化改变I。L环型振荡器的输 出频率。图 遭传感器接 口。它由八个传感器输入接 口， 2(b)是Neumeister等采用两个九阶MOS 积 分器、比较 器和其它数字处理 电路梅成 环型振荡器制成的传感器 由于MOS场效